Мы используем файлы cookie для правильного функционирования сайта. Работая с нашим сайтом, вы даете свое согласие на использование нами cookie-файлов
Я согласен
Бесплатный звонок: 8 800 2000 567
en
Бесплатный звонок: 8 800 2000 567
Электронно-лучевой литограф

Raith VOYAGER

Производитель Raith
Область применения

.

  • Описание

  • Характеристики

    Основные характеристики

    Лазерный интерферометрический стол и точности сшивки/наложения

    - Перемещение 6 дюймов (работа на пластинах до 8 дюймов) - Точность сшивки полей и наложения полей <25 нм (среднее значение + 3 сигма)

    Единичное поле экспонирования

    500 мкм; Динамические коррекции в реальном времени

    Электронно-оптическая колонна

    - Автоэмиссионный катод Шоттки, - Электростатическая колонна, - SE-ET детектор вторичных электронов, - Детектор обратно-рассеянных электронов ASB (опция), - Стабильность позиции пучка <200 нм/8 час, - Стабильность тока пучка: дрейф <0,5% / 1 час,

    Энергия луча

    до 50 кэВ

    Зондовый ток

    50 пА – 40 нА

    Режимы и характеристики

    - Адаптивные гибкие схемы распознавания маркеров выравнивания, - Разрешение 18 бит на образце (20 бит опция), - Режимы FLEXposure, traxx (опция), periodixx (опция), - Коррекция эффекта близости, - Литография в 3D (опция),

    Минимальный размер получаемой структуры/линии

    < 10 нм

    Минимальный размер периода решетки

    < 40 нм

    Генератор развертки

    50 МГц

  • Сервисное обслуживание

    Сервисное обслуживание

    Постгарантийное обслуживание в Сервисном Центре ZEISS –
    это квалифицированная техническая поддержка и модернизация оборудования
    от профессиональных инженеров:


    • диагностика, профилактические и регламентные работы
    • удаленные консультации
    • замена запасных частей и комплектующих
    • модернизация оборудования и установка актуального ПО
    Узнать больше

. . .

Смотрите также
Raith PIONEER Two
Raith PIONEER Two
Raith ELPHY Quantum
Raith ELPHY Quantum
Raith ELPHY Plus
Raith ELPHY Plus
Raith ELPHY MultiBeam
Raith ELPHY MultiBeam
Raith eLINE Plus
Raith eLINE Plus
Raith CHIPSCANNER
Raith CHIPSCANNER
Raith150 TWO
Raith150 TWO
Raith EBPG-5200
Raith EBPG-5200
Raith EBPG5150
Raith EBPG5150
Nanoscribe Photonic Professional GT2
Nanoscribe Photonic Professional GT2
Заинтересованы в сотрудничестве?

Свяжитесь с нами по телефону: 8–800–2000–567 или заполните форму обратной связи:

Отправить
x