Raith VOYAGER

Raith VOYAGER — это высокопроизводительный электронно-лучевой литограф, построенный на технологии Raith eWrite. Инновационная архитектура и высокие показатели спецификации помогают получать точные результаты при высокой скорости экспонирования. Позволяет осуществлять литографирование на образцах малых площадей и пластинах размером до 8 дюймов.

Технология eWrite объединяет в себе специализированную архитектуру электронно-лучевой колонны и паттерн-генератора, позволяющую осуществлять автоматизацию калибровок системы, и высокую скорость при серийном производстве. Вдобавок к функционалу ЭЛЛ, VOYAGER обладает режимом РЭМ-изображения с высоким разрешением и разнообразными функциями метрологии и инспекции результатов.

Электронно-лучевой литограф Raith VOYAGER обеспечивает высокую скорость экспонирования (1 см² комплексных данных растрового массива в оттенках серого менее чем за 1 час) с автоматизированной системой калибровки при сохранении максимальной точности и разрешения. Экспонирование можно проводить с ультравысоким, суб-10 нм разрешением при работе на пластинах вплоть до 8 дюймов. Рекомендован в областях, где требуется высокая производительность и максимум пространственного разрешения.

• Электронная оптика обеспечивает ток пучка до 40 нА.
• Поле экспонирования 500 мкм снижает необходимость в частых перемещениях стола и большом количестве сшивок.
• Паттерн-генератор 50 МГц полностью решает проблемы применения в фотонике и оптике, где требуется оперировать большим комплексным массивом данных.

Использование Raith VOYAGER полностью исключает появление ошибок сшивки и наложения полей благодаря методам непрерывного и бесшовного экспонирования traxx и periodixx, а также технологиям экспонирования лазерным интерферометрическим столиком при фиксированном луче (FBMS), и при модулированном пучке (MBMS). Режимы направленного сканирования Raith FLEXposure помогают оптимизировать и значительно улучшить воспроизводимость запроектированных форм, особенно в отношении к нанометровым величинам производственных допусков.

Программное обеспечение Raith NANOSUITE предоставляет полный контроль над процессом электронно-лучевой литографии. Пользователям доступен единый модуль дизайна CAD-объектов с привязкой к слоям и параметрам экспонирования, контролем позиционирования в системе координат образца, контролем колонны, скриптингом, макросами, автоматизацией, коррекцией эффекта близости, литографией в 3D. Соблюдается стандарт GDSII.

Литограф Raith VOYAGER — компактный прибор, который может быть установлен вне пространства чистых помещений благодаря опции загрузки образца через стенку. Защитный кожух уменьшает затраты на микроклимат в лабораторных помещениях в течение всего жизненного цикла оборудования.

Дополнительные характеристики:

• Низкошумная электроника
• Активная платформа виброподавления, активная система подавления шумов магнитного поля
• Автоматическая фокусировка и настройка стигматора
• Преднастройки в один клик для высокого разрешения или высокой пропускной способности
• Коррекция эффекта близости
• До 500 мкм поля экспонирования с динамическими коррекциями в реальном времени
• Автоматическое переключение между режимами пропускной способности и высокого разрешения
• Интегрируемый модуль наклона и поворота образца
• Встроенная функция визуализации с высоким разрешением, навигация по образцу
• Экономически выгодная замена катода вместо катодного узла (пушки) части колонны.

Области применения

• Оптические структуры для элементов защиты от подделок
• Серийное производство полупроводниковых приборов