Описание
Технические характеристики
Скорость экспонирования |
12 МГц |
Управляющие сигналы |
Управление электростатическим бланкером (TTL), Управление электростатическим бланкером (100В), Включение внешнего управления сканированя пучками РЭМ/ФИП (TTL), Запрос на управление сканирования РЭМ/ФИП внешним устройством (TTL) |
Цифроаналоговые преобразователи |
16 бит, 2 х 3 мультиплицирующих ЦАП для сверхвысокоточного выравнивания и калибровки размеров в поле экспонирования, Выделенный стабилизированный блок ЦАП, 100% развязка с электроникой управляющего компьютера |
Режимы и характеристики |
Редактор GDSII с интегрированной иерархической структурой; обсчет и привязка параметров экспонирования; скриптинг (VB), создание макросов, Импорт форматов AutoCAD DXF, ASCII, CIF, Режим захвата изображения, Измерение ширины линии, Удаленный контроль РЭМ/ФИП, модуль ФИП, “Offline” лицензии программного обеспечения, Коррекция эффекта близости (опционально), Литография в 3D, Работа с лазерным интерферометрическим столом без ограничений |
Временное разрешение по скорости экспонирования |
2 нс |
Сервисное обслуживание
Постгарантийное обслуживание в Сервисном Центре ZEISS –
это квалифицированная техническая поддержка и модернизация оборудования
от профессиональных инженеров:
. . .
Свяжитесь с нами по телефону: 8–800–2000–567 или заполните форму обратной связи: