Cameca EIKOS — атомный зонд, позволяющий проводить типовой высокоточный трехмерный наноанализ в исследовательских и промышленных целях.
Основываясь на тридцатилетнем опыте успешной разработки инструментов и оборудования для атомно-зондовой томографии, компания CAMECA создала EIKOS™, атомно-зондовый микроскоп для быстрого исследования сплавов и наноразмерных материалов.
Атомно-зондовая томография (APT или трехмерный атомный зонд) это единственный метод анализа материала, предоставляющий широкие возможности одновременно для трехмерной визуализации и измерения химического состава на атомном уровне (разрешение приблизительно 0.1-0.3 нм в глубину и 0.3-0.5 нм латерально). Со времен своих первых разработок атомно-зондовая томография внесла большой вклад в материаловедение.
При подготовке образец приобретает форму очень острого наконечника. Охлажденный наконечник находится под высоким постоянным напряжением (3-15 кВ). Очень маленький радиус наконечника и высокое напряжение создают мощное электростатическое поле (десятки В/нм) на его поверхности, чуть ниже значения, при котором происходит испарение атомов. Под воздействием лазера или высокого напряжения один или более атомов испаряются с поверхности из-за полевого эффекта (практически 100-процентная ионизация) и проецируются на позиционно-чувствительный детектор (PSD) с очень высокой эффективностью обнаружения. Ионная эффективность 80%, самая высокая эффективность анализа из всех видов трехмерной микроскопии.
Преимущества атомного зонда EIKOS:
Трехмерная томография с исследованием микроструктур в наномасштабе
Высокоэффективное обнаружение одиночных атомов с высоким пространственным разрешением
Равная чувствительность ко всем элементам и их изотопа
Измерение количественного состава (по шкале от менее чем одного нанометра до почти одного микрона)
Доступен в электронной и электронно-лазерной конфигурации
Стандартные методы подготовки образца
Зонд EIKOS доступен в двух комплектациях:
EIKOS
Базовая система EIKOS с конструкцией рефлектрона, обеспечивающий наилучшую разрешающую способность и соотношение сигнала-шум. Предустановленный контр-электрод облегчает работу с аппаратом и повышает надежность. Импульсная система подачи напряжения позволяет получать данные высокого качества при решении широкого круга металлургических задач.
EIKOS-UV
Полностью укомплектованная система EIKOS-UV сочетает в себе все лучшие особенности базовой EIKOS (импульсная подача напряжения, конструкция рефлектрона, предустановленный контр-электрод) и полностью интегрированный лазерный импульсный модуль 355 нм с компьютерным контролем фокуса, что открывает еще больше возможностей применения.
Базовую систему EIKOS после покупки можно улучшить до EIKOS-UV.
Технические характеристики
Основные характеристики
Пространственное разрешение 0.1-0.3 нм в глубину и 0.3-0.5 нм латерально