Cameca NanoSIMS 50L

Масс-спектрометр Cameca NanoSIMS 50L — это прибор, специализированный для получения высокого латерального разрешения по поверхности, с сохранением в то же время высокой чувствительности и масс-спектральногоразрешения для анализа следов элементов и изотопов.

Позволяет обнаружить одновременно до семи видов субстанций, благодаря электромагнитным детекторам для отображения и цилиндрам Фарадея для высокоточных измерений изотопов.

Технология работы Масс-спектрометра Cameca NanoSIMS 50L основана на методике SIMS. Это самая популярная и самая чувствительная методика определения элементного и изотопного строения поверхностного слоя материалов. Ее суть заключается в анализе потока ионов с помощью масс-спектрометра для получения информации об элементном, изотопном и молекулярном строении самых верхних атомных слоёв образца.

Методика SIMS обеспечивает уникальное сочетание крайне высокой чувствительности для всех элементов от водорода до урана (предел определения вплоть до ppb-уровня многих элементов), воспроизведение изображения с высоким разрешением по плоскости (до 40 нм) и очень низкий фон, который обеспечивает большой динамический диапазон (больше, чем 5 десятичных разрядов). SIMS — разрушающая методика анализа по природе. Её можно применять к любому типу материалов (изоляторы, полупроводники, металлы), которые могут находиться в вакууме.

Методика позволяет проводить как элементный, так и молекулярный анализ верхнего монослоя в статическом режиме SIMS. Она также позволяет исследовать объёмные структуры или распределение микроэлементов вглубь в динамическом режиме SIMS, с разрешением вглубь от 1 до 20–30 нм.