Масс-спектрометр Cameca INS 7f — Auto спроектирован для сверхточного элементарного и изотопного анализа с повышенной производительность и легкостью проведения исследований. IMS 7f-Auto оптимизирован для работы со стеклом, металлом, керамикой, объемными материалами, тонкими пленкам и приборами, основанными на кремниевых, III–V и II–VI полупроводниках.
IMS 7f-Auto позволяет проводить определение профиля распределения следов элементов по глубине с высокой чувствительностью, а также получать 2D- или 3D-изображения путем анализа вторичных ионов.
Высокое спектральное разрешение и пропускная способность IMS 7f-Auto устраняет влияние многочисленных нежелательных сопутствующих ионов, что позволяет проводить точный элементный или изотопный анализ с пределом детектирования до уровня концентраций одна частица на миллиард.
Технология работы Масс-спектрометра Cameca INS 7f — Auto основана на методике SIMS. Это самая популярная и самая чувствительная методика определения элементного и изотопного строения поверхностного слоя материалов. Ее суть заключается в анализе потока ионов с помощью масс-спектрометра для получения информации об элементном, изотопном и молекулярном строении самых верхних атомных слоёв образца.
Методика SIMS обеспечивает уникальное сочетание крайне высокой чувствительности для всех элементов от водорода до урана (предел определения вплоть до ppb-уровня многих элементов), воспроизведение изображения с высоким разрешением по плоскости (до 40 нм) и очень низкий фон, который обеспечивает большой динамический диапазон (больше, чем 5 десятичных разрядов). SIMS — разрушающая методика анализа по природе. Её можно применять к любому типу материалов (изоляторы, полупроводники, металлы), которые могут находиться в вакууме.
Методика позволяет проводить как элементный, так и молекулярный анализ верхнего монослоя в статическом режиме SIMS. Она также позволяет исследовать объёмные структуры или распределение микроэлементов вглубь в динамическом режиме SIMS, с разрешением вглубь от 1 до 20–30 нм.
