Cameca IMS Wf & SC Ultra — высокопроизводительная масс-спектрометрия вторичных ионов (МСВИ) со сверхнизкой энергией для области разработок и производства полупроводников.
Cameca IMS Wf & SC Ultra — высокопроизводительная масс-спектрометрия вторичных ионов (МСВИ) со сверхнизкой энергией для области разработок и производства полупроводников
Масс-спектрометры IMS Wf и SC Ultra были специально разработаны для удовлетворения растущих потребностей в области динамической масс-спектрометрии вторичных ионов при разработке и производстве полупроводников. Предлагая широкий диапазон энергий соударения (от 100 эВ до 10 кэВ) без потери разрешения по массе и плотности первичного пучка, они обеспечивают непревзойденные аналитические характеристики при высокой пропускной способности для самых сложных областей применения: сверхтонкие и высокоэнергетические имплантаты, ультратонкие азотированные оксиды, металлические затворы с высокой диэлектрической проницаемостью, кремний-германиевые легированные слои, структуры Si:C:P, фотоэлектрические и светодиодные устройства, графен и т. п.
От стандартного до сверхмалого профилирования по глубине
Первым необходимым условием анализа современных полупроводниковых приборов является оптимизация аналитических условий масс-спектрометрии вторичных ионов к профилированию по сверхмалой глубине без отказа от традиционного профилирования по глубине. В связи с этим компания CAMECA разработала уникальную конструкцию прибора для масс-спектрометрии вторичных ионов, способную распылять образцы с большим диапазоном энергий соударения: от высокой энергии (диапазон кэВ) для плотных структур до сверхнизкой энергии (≤ 150 эВ) для ультратонких структур. Данная гибкость в выборе энергии соударения доступна для различных управляемых условий распыления (вид, угол падения и т. д.). Масс-спектрометры IMS Wf и SC Ultra производства Cameca — единственные приборы для масс-спектрометрии вторичных ионов, предлагающие такие функции как чрезвычайно низкая энергия соударения (EXLIE) без потери высокого разрешения по массам и высокой скорости передачи.
Высокий уровень автоматизации
По мере развития технологии масс-спектрометрии вторичных ионов, пользователи желают того, чтобы для достижения высокой воспроизводимости и прецизионности измерений не требовался значительный уровень профессиональных компетенций. В настоящее время наблюдается очевидная тенденция к автоматическому анализу без постоянного надзора персонала. Масс-спектрометры IMS Wf и SC Ultra решают данную проблему посредством компьютерной автоматизации, обеспечивающей полный контроль всех аналитических параметров (формула анализа, настройка прибора и т. д.).
Система шлюзовых камер, этап отбора проб и камера анализа были оптимизированы для размещения пластин размером до 300 мм (модель IMS Wf) и для загрузки большого количества образцов в одной партии — до 100 в модели IMS Wf, которая также обеспечивает полностью автоматизированную передачу между шлюзом и камерой анализа.
Благодаря высокому уровню автоматизации масс-спектрометры IMS Wf и SC Ultra выполняют быстрое профилирование по глубине с оптимизированной пропускной способностью образца и превосходной стабильностью измерений, обеспечивая беспрецедентную производительность прибора для масс-спектрометрии вторичных ионов.
Основные характеристики
Диапазон энергий ионов от 100 эВ до 10 кэВ
Размещение пластин диаметром до 300 мм (IMS Wf)
Загрузка пластин партиями до 100 шт (IMS Wf)
Полная автоматизация
Уникальная технология МСВИ EXLIE (EXtreme Low Impact Energy)
Специализированное ПО WinCurve, WinImage II, APM (Automated Particle Measurement).
Сервисное обслуживание
Постгарантийное обслуживание в Сервисном Центре ZEISS –
это квалифицированная техническая поддержка и модернизация оборудования
от профессиональных инженеров:
диагностика, профилактические и регламентные работы
удаленные консультации
замена запасных частей и комплектующих
модернизация оборудования и установка актуального ПО
От стандартного до сверхмалого профилирования по глубине
