Bruker Dektak XTL – это профилометр QA / QC с возможностью калибровки для оптимальной производительности 300 мм. Обеспечивает чрезвычайно точное, повторяемое и воспроизводимое измерение для широкого спектра применений. Благодаря возможности размещения образцов размером до 350 x 350 мм, профилометр Bruker Dektak XTL обеспечивает несравнимую производительность для производства ваферов 200 мм и 300 мм.
Dektak XTL отличается небольшой занимаемой площадью и встроенной изоляцией со взаимосвязанными дверями, что делает его идеальным для производственной среды. Его конструкция с двумя камерами обеспечивает улучшенную пространственную информативность, а высокий уровень автоматизации повышает производительность.
Эксклюзивный продвинутый производственный интерфейс Bruker Vision64 с дополнительным распознаванием образов делает сбор данных понятным и повторяемым процессом и минимизирует вариации в зависимости от оператора.
Специализированное программное обеспечение делает Dektak XTL самым мощным и простым в использовании стилусным профилометром. ПО обеспечивает сбор данных и 2D/3D-анализ, а также обеспечивает неограниченное количество участков измерений, трехмерное картирование и точную настройку характеристик с помощью сотен встроенных инструментов анализа.
Основные преимущества
Анализ больших образцов
- Кодированная 300 мм X / Y платформа
- Вмещает 200 и 300 мм ваферы
- Панели до 350 х 350 мм.
Промышленный дизайн
- Встроенная изолированная платформа
- Встроенная клавиатура / монитор
- Небольшая рабочая станция.
Дополнительные функции QA/QC
- Распознавание графиков
- Продвинутый производственный интерфейс
- Заблокированные двери
- Локализованный графический интерфейс
- Авто-готовый комплект для SECS / GEM.