Мы используем файлы cookie для правильного функционирования сайта. Работая с нашим сайтом, вы даете свое согласие на использование нами cookie-файлов
Я согласен
Бесплатный звонок: 8 800 2000 567
en
Бесплатный звонок: 8 800 2000 567
Сканирующий гелиевый ионный микроскоп

ZEISS ORION NanoFab

Производитель ZEISS
Область применения

секвенирование ДНК, фотоника/плазмоника, литография, прецизионная резка, ионно-стимулированное осаждение

  • Описание

  • Характеристики

    Основные характеристики

    Тип катода

    Газовый полевой ионный источник для He и Ne

    Размеров элементов, которые прецизионно готовит галлий-ионный пучок

    100 нм - мкм

    Размеров элементов, которые прецизионно готовит неон-ионный пучок

    10 – 100 нм

    Минимальный размер элемента, который прецизионно готовит гелий-ионный пучок

    менее 10 нм

    Разрешение гелиевой колонны

    0,5 нм при 30 кВ

    Разрешение неоновой колонны

    1,9 нм при 25 кВ

    Разрешение галлиевой колонны

    3 нм при 30 кВ и токе пучка 1 пА

    Ускоряющее напряжение

    10 – 30 кВ для He / 10 – 25 кВ для Ne / 1 – 30 кВ для Ga

    Ускоряющее напряжение ионной колонны

    0,5 – 30 кВ

    Ток ионного пучка

    0,1 – 100 пА для He / 0,1 – 50 пА для Ne / 1 пА – 100 нА для Ga

    Перемещения рабочего столика

    X = 48 мм / Y = 48 мм / Z = 8 мм / Вращение 360 градусов / Наклон от 0 до 54 градусов.

    Тип столика

    Комбинированный эвцентрик (означает, что выбранная точка на образце всегда остается в фокусе при вращении и наклоне образца. Причем достигается это за счет траектории механического движения столика, а не программной обработки)

    Размер камеры для образцов

    280 * 280 * 260 мм / 80 мм шлюз / 6 портов для подключения опционального оборудования

  • Сервисное обслуживание

    Сервисное обслуживание

    Постгарантийное обслуживание в Сервисном Центре ZEISS –
    это квалифицированная техническая поддержка и модернизация оборудования
    от профессиональных инженеров:


    • диагностика, профилактические и регламентные работы
    • удаленные консультации
    • замена запасных частей и комплектующих
    • модернизация оборудования и установка актуального ПО
    Узнать больше

. . .

Смотрите также
ZEISS Primo Star
ZEISS Primo Star
ZEISS Primo Star iLED
ZEISS Primo Star iLED
ZEISS Axio Lab.A1 для биологии
ZEISS Axio Lab.A1 для биологии
ZEISS Axiolab 5
ZEISS Axiolab 5
ZEISS Axio Lab.A1 для материаловедения
ZEISS Axio Lab.A1 для материаловедения
ZEISS Axio Scope.A1 для биологии
ZEISS Axio Scope.A1 для биологии
ZEISS Axioscope 5
ZEISS Axioscope 5
ZEISS Axio Imager 2 для биологии
ZEISS Axio Imager 2 для биологии
ZEISS Axio Imager 2  для материаловедения
ZEISS Axio Imager 2 для материаловедения
ZEISS Axio Examiner
ZEISS Axio Examiner
Заинтересованы в сотрудничестве?

Свяжитесь с нами по телефону: 8–800–2000–567 или заполните форму обратной связи:

Отправить
x