ZEISS GeminiSEM 450

ZEISS GeminiSEM 450 решает три противоречивые исследовательские задачи:

1. Разрешает изображения при больших токах для быстрого сбора спектроскопических данных. Это особенно важно при работе детекторов EDS и WDS. Микроскоп изображает поверхность, даже когда пучок электронов начинает плавить поверхность при 100 нА. Максимальный ток микроскопа – 300 нА.
2. Изображает нанометровые объекты при низких ускоряющих напряжениях 20 В.
3. Разрешает наноразмерные объекты - биоматериалы, катализаторы, фуллерены, пористости, поверхности раздела. Предельное разрешение 0,5 нм при 15 кВ и 1,0 нм при 500 В. Изображает нанообъеты «на просвет» с разрешением трансмиссионных (просвечивающих) микроскопов – 0,6 нм. Это близко к разрешению флагмана линейки ZEISS – GeminiSEM 500.

GeminiSEM 450 исследует газящие и разрушающиеся под действием радиации образцы - полимеры, химические вещества, суспензии - при низких ускоряющих напряжениях в 20 В. Это увеличивает поверхностную чувствительность, уменьшает зарядку непроводящих образцов и повреждение чувствительных к пучку электронов образцов. В результате микроскоп исследует диэлектрические образцы с нанометровыми областями интереса без предварительной пробоподгототовки.

Внутрилинзовые детекторы вторичных и обратно-рассеянных электронов изображают поверхность образцов одновременно. Разрешение в обратно-рассеянных электронах при этом 1,2 нм при 1 кВ.

Конструкция колонны GeminiSEM 450 минимизирует магнитные поля на поверхности образцов. Микроскоп изображает диа-, пара- или ферромагнитные образцы с разрешением 4 нм при рабочем расстоянии 2 мм и напряжении 1 кВ.