-
Описание
Raith VELION — прибор, сочетающий архитектуру ионно-лучевого литографа с лазерным интерферометрическим столом и электронной колонной.VELION — это новейший прибор ФИП-РЭМ, в котором наноконструирование ионным лучом стало основным методом создания трехмерных наноструктур высокого разрешения, таких как плазмонные устройства и нанофлюидные структуры, а также локальная имплантация и функционализация поверхностей.
Уникальная комбинация совмещенной с РЭМ вертикально расположенной ионной колонны и лазерного интерферометрического стола в сочетании с отработанной технологией литографии позволяют прибору VELION сделать наноконструирование сфокусированным ионным лучом по-настоящему основным методом. Специально разработанная архитектура системы обеспечивает непревзойденную надежность, точность и высокий уровень автоматизации. Прибор позволяет создавать даже самые сложные структуры с высочайшей точностью и способен длительное время работать в автоматическом режиме.
VELION предоставляет уникальные возможности для продвинутого ионно-лучевого наноконструирования, а также позволяет осуществлять изготовление образцов для ПЭМ, управлять процессом и проводить травление — и все это в одном приборе!
Ионно-лучевое наноконструирование
Ускорение работы за счет исключения долгих и ограничивающих объем производства этапов литографического процесса, таких как травление новых и сложных материалов. Даже на топографических образцах и при обработке обширных поверхностей создавать трехмерные структуры можно с помощью направленного фрезерования и травления.
Пробоподготовка
Ионно-лучевое фрезерование и управление РЭМ в режиме реального времени позволяют подготавливать образцы для ПЭМ in-situ. Системы газовых инжекторов, наноманипуляторы и точное управление завершением операции (end-point detection) позволяют решать различные задачи при пробоподготовке.
Управление процессом
Возможность контролировать ход и результаты процесса in-situ. Продвинутое оснащение столика, РЭМ высокого разрешения и автоматические измерения позволяют управлять процессом напрямую для быстрой оптимизации параметров.
Электронно-лучевая литография
Один прибор совмещает в себе безграничные возможности ФИП и РЭМ. Также возможно использовать РЭМ в базовых процессах электронно-лучевой литографии, в том числе благодаря расширенному управлению параметрами, автоматическому сканированию и коррекции эффекта близости.Уникальные особенности уникального ФИП-РЭМ
- Специальная колонна nanoFIB ion
- TFE колонна РЭМ высокого разрешения
- Лазерный интерферометрический стол
- Технология использования пучков ионов различных элементов
- Испытанное программное обеспечение для наноконструирования и инспекции результатов
- По-настоящему непрерывные стратегии экспонирования
- Различные дополнительные опции, включая, в числе прочего, газовые инжекторы и наноманипуляторы
- Возможность дальнейшей установки дополнительных модулей
Высокая гибкость за счет возможностей настройки прибора
Прибор VELION — это гибкая платформа со множеством универсальных портов. В зависимости от задач, можно подключить различные необходимые для работы систем ФИП-РЭМ оптические камеры, системы газовых инжекторов и наноманипуляторы для работы в прямоугольной системе координат. Состав системы можно настраивать индивидуально, а последующее расширение не вызовет затруднений. Доступны дополнительные опции, например, автоматический датчик высоты образца, индивидуальные держатели образца, система плазменной очистки и многое другое.
Технология IONselect — ионно-лучевое наноконструирование без использования галлия
Технология nanoFIB используется для стабильного применения ионов золота, кремния и прочих элементов с нанометровым диаметром пучка. Оптимизация в зависимости от потока источника ионов сплава и ионная оптика с низкой аберрацией позволяют легко переключаться между ионами различных элементов в одном источнике, при этом сохраняя высокое разрешение и устойчивость колонны nanoFIB Three.
Технология IONselect позволяет использовать различные частицы, от легких ионов с двойным зарядом до тяжелых ионов и кластеров, сохраняя при этом полный контроль над ними, что открывает простор для изобретения новых методов нанотехнологиеческого изготовления. Обработка с низким уровнем загрязнения, точной функционализацией, высоким разрешением и фрезированием с учетом поверхности станут основой для будущих прорывных исследований.
Примеры применения:
Анализ поперечного сечения трехмерной решетки
Тест дозы и диаметров на мембране
Изображение с высоким разрешением деталей плазмонных структур
Длительная обработка больших и сложных форм таких, как структура трехмерного нанопоглотителя
Трехмерная сшивка и травление сфокусированным ионным пучком делает возможным получение длинного, 1-миллиметрового канала смешивания для микрофлюидики
Большой массив плазмонных структур с малыми элементами, созданный прямым травлением сфокусированным ионным пучком в золоте
Вырезанная ламель для ПЭМ, извлеченная из общей толщи образца при помощи наноманипулятора
Связывающее волноводное устройство несколько миллиметров длиной, созданное при помощи ФИП-травления и сшивки полей -
Технические характеристики
Основные характеристики
Столик, полный диапазон хода 4 дюйма
Держатели образца поворотный и наклонный
Технологии колонны nanoFIB, IONselect, Ионная колонна 35 кВ Ga (Au, Si, Ge), Электронная колонная FE-SEM 20 кВ
Режимы записи Traxx, Periodixx
-
Сервисное обслуживание
Постгарантийное обслуживание в Сервисном Центре ZEISS –
это квалифицированная техническая поддержка и модернизация оборудования
от профессиональных инженеров:
- диагностика, профилактические и регламентные работы
- удаленные консультации
- замена запасных частей и комплектующих
- модернизация оборудования и установка актуального ПО
. . .
Смотрите также
Заинтересованы в сотрудничестве?
Связаться с ZEISS
Свяжитесь с нами по телефону: 8–800–2000–567 или заполните форму обратной связи:
x