-
Описание
-
Технические характеристики
Основные характеристики
Скорость экспонирования 6 МГц
Управляющие сигналы (TTL) Управление электростатическим бланкером, Включение внешнего управления сканированя пучками РЭМ/ФИП, Запрос на управление сканирования РЭМ/ФИП внешним устройством
Цифроаналоговые преобразователи 16 бит, 2 х 3 мультиплицирующих ЦАП для сверхвысокоточного выравнивания и калибровки размеров в поле экспонирования
Режимы и характеристики Редактор GDSII с интегрированной иерархической структурой; обсчет и привязка параметров экспонирования; скриптинг (VB), создание макросов, Импорт форматов AutoCAD DXF, ASCII, CIF, Режим захвата изображения, Измерение ширины линии, Удаленный контроль РЭМ/ФИП, модуль ФИП, “Offline” лицензии программного обеспечения, Коррекция эффекта близости (опционально), Литография в 3D
-
Сервисное обслуживание
Постгарантийное обслуживание в Сервисном Центре ZEISS –
это квалифицированная техническая поддержка и модернизация оборудования
от профессиональных инженеров:
- диагностика, профилактические и регламентные работы
- удаленные консультации
- замена запасных частей и комплектующих
- модернизация оборудования и установка актуального ПО
. . .
Свяжитесь с нами по телефону: 8–800–2000–567 или заполните форму обратной связи: