Электронно-литографическая приставка

Raith ELPHY Quantum

Основная информация

Raith ELPHY Quantum — это электронно-литографическая приставка для растрового электронно-лучевого или ионно-лучевого микроскопа. Универсальное бюджетное решение, позволяющее оборудовать РЭМ базовыми возможностями электронно-лучевой литографии: дизайн паттернов, работа с параметрами экспонирования, возможность выравнивания по маркерам при наложении литографических слоев для процессов типа step&repeat.

Подробнее...

Производитель Raith

Описание

Raith ELPHY Quantum — это электронно-литографическая приставка для растрового электронно-лучевого или ионно-лучевого микроскопа. Универсальное бюджетное решение, позволяющее оборудовать РЭМ базовыми возможностями электронно-лучевой литографии: дизайн паттернов, работа с параметрами экспонирования, возможность выравнивания по маркерам при наложении литографических слоев для процессов типа step&repeat.

ELPHY Quantum — специально разработанный 16-битный аппаратный модуль, позволяющий работать на скоростях цифро-аналоговых преобразователей вплоть до 6 МГц. Мультиплицирующие цифро-аналоговые преобразователи позволяют получать высокую точность калибровки координат внутри поля экспонирования.

Модуль интегрирован в компьютер с программной средой Windows.

Технические характеристики

Основные характеристики

Скорость экспонирования	6 МГц
Управляющие сигналы (TTL)	Управление электростатическим бланкером, Включение внешнего управления сканированя пучками РЭМ/ФИП, Запрос на управление сканирования РЭМ/ФИП внешним устройством
Цифроаналоговые преобразователи	16 бит, 2 х 3 мультиплицирующих ЦАП для сверхвысокоточного выравнивания и калибровки размеров в поле экспонирования
Режимы и характеристики	Редактор GDSII с интегрированной иерархической структурой; обсчет и привязка параметров экспонирования; скриптинг (VB), создание макросов, Импорт форматов AutoCAD DXF, ASCII, CIF, Режим захвата изображения, Измерение ширины линии, Удаленный контроль РЭМ/ФИП, модуль ФИП, “Offline” лицензии программного обеспечения, Коррекция эффекта близости (опционально), Литография в 3D

Узнать подробные характеристики

Сервисное обслуживание
Постгарантийное обслуживание в Сервисном Центре ZEISS –
это квалифицированная техническая поддержка и модернизация оборудования
от профессиональных инженеров:
- диагностика, профилактические и регламентные работы
- удаленные консультации
- замена запасных частей и комплектующих
- модернизация оборудования и установка актуального ПО
Узнать больше