Бесплатный звонок: 8 800 2000 567
en
Бесплатный звонок: 8 800 2000 567

Описание товара

Электронно-литографическая приставка

Raith ELPHY MultiBeam

Производитель Raith
  • Описание

  • Характеристики

    Основные характеристики

    Скорость экспонирования

    20 МГц

    Роутер сигналов

    Управление растром РЭМ, ФИП, Управление координатным столом, Подключение сторонних внешних устройств (EDX, AUX 1, AUX 2)

    Цифроаналоговые преобразователи

    16 бит, 2 х 3 мультиплицирующих ЦАП для сверхвысокоточного выравнивания и калибровки размеров в поле экспонирования

    Режимы и характеристики

    Редактор GDSII с интегрированной иерархической структурой; обсчет и привязка параметров экспонирования; скриптинг (VB), создание макросов, Импорт форматов AutoCAD DXF, ASCII, CIF, Режим захвата изображения, Измерение ширины линии, Удаленный контроль РЭМ/ФИП, модуль ФИП, “Offline” лицензии программного обеспечения, Коррекция эффекта близости (опционально), Литография в 3D, Работа с лазерным интерферометрическим столом без ограничений, DirectAlignDesign – проектирование и экспонирование по РЭМ изображению, FLEXposure – проектирование и экспонирование с возможностью задания траектории растра в зависимости от геометрии элемента, Менеджер рецептов, Оптимизированная для ФИП автоматическая система распознавания маркеров выравнивания, Импорт доз экспонирования (с нелинейным распределением) по изображению в градациях серого, 3D «наноскульптурирование» (при помощи РЭМ, ФИП) при помощи многоуровневого GDSII дизайна и параметров экспонированияFLEXposure

    Временное разрешение по скорости экспонирования

    1 нс

    Минимальное время экспонирования на точку

    50 нс с разрешением 1 ГГц

  • Сервисное обслуживание

    Сервисное обслуживание

    Постгарантийное обслуживание в Сервисном Центре ZEISS –
    это квалифицированная техническая поддержка и модернизация оборудования
    от профессиональных инженеров:


    • диагностика, профилактические и регламентные работы
    • удаленные консультации
    • замена запасных частей и комплектующих
    • модернизация оборудования и установка актуального ПО
    Узнать больше

. . .

Смотрите также

Raith VOYAGER
Raith VOYAGER
Raith PIONEER Two
Raith PIONEER Two
Raith ELPHY Quantum
Raith ELPHY Quantum
Raith ELPHY Plus
Raith ELPHY Plus
Raith eLINE Plus
Raith eLINE Plus
Raith CHIPSCANNER
Raith CHIPSCANNER
Raith150 TWO
Raith150 TWO
Raith EBPG-5200
Raith EBPG-5200
Raith EBPG5150
Raith EBPG5150
Nanoscribe Photonic Professional GT2
Nanoscribe Photonic Professional GT2
Заинтересованы в сотрудничестве?

Свяжитесь с нами по телефону: 8–800–2000–567 или заполните форму обратной связи:

Отправить
x