Мы используем файлы cookie для правильного функционирования сайта. Работая с нашим сайтом, вы даете свое согласие на использование нами cookie-файлов
Я согласен
Бесплатный звонок: 8 800 2000 567
en
Бесплатный звонок: 8 800 2000 567
Электронно-лучевой литограф

Raith eLINE Plus

Производитель Raith
  • Описание

  • Характеристики

    Основные характеристики

    Лазерный интерферометрический стол

    100×100×30 мм, ­Точность сшивки полей и наложения полей на больших площадях <40 нм (среднее значение + 3 сигма), Точность позиционирования 1 нм

    Электронно-оптическая колонна

    Автоэмиссионный катод Шоттки, диаметр пятна зонда <2 нм, Колонна без кроссоверов (т.е. без пересечений траекторий лучей пучка): низкие аберрации, высокая плотность тока зонда (> 7 500 A/cm2), высокое, пространственное разрешение как при высоких, так и при низких ускоряющих напряжениях, Внутрилинзовый детектор вторичных электронов, Метрологические возможности и получение РЭМ-изображений при ускоряющих напряжениях в том числе менее 1 кВ, Долговременная стабильность тока пучка (<0,5% / 8 часов), Непревзойденная точность позиционирования луча на образце

    Энергия луча

    20 эВ – 30 кэВ

    Зондовый ток

    5 пА – 20 нА

    Режимы и характеристики

    Автоматизация всех операций, автоматическое выравнивание плоскости фокуса, коррекция дрейфа, коррекция доз по измеряемому току, GDSII; импорт форматов AutoCAD DXF, ASCII, CIF, “DirectAlignDesign”, “Flexposure”, Коррекция эффекта близости, -Литография в 3D

    Минимальная ширина получаемой линии

    < 10 нм

    Генератор развертки

    20МГц

    Бесшовная литография протяженных и периодических структур

    traxx, periodixx

  • Сервисное обслуживание

    Сервисное обслуживание

    Постгарантийное обслуживание в Сервисном Центре ZEISS –
    это квалифицированная техническая поддержка и модернизация оборудования
    от профессиональных инженеров:


    • диагностика, профилактические и регламентные работы
    • удаленные консультации
    • замена запасных частей и комплектующих
    • модернизация оборудования и установка актуального ПО
    Узнать больше

. . .

Смотрите также
Raith VOYAGER
Raith VOYAGER
Raith PIONEER Two
Raith PIONEER Two
Raith ELPHY Quantum
Raith ELPHY Quantum
Raith ELPHY Plus
Raith ELPHY Plus
Raith ELPHY MultiBeam
Raith ELPHY MultiBeam
Raith CHIPSCANNER
Raith CHIPSCANNER
Raith150 TWO
Raith150 TWO
Raith EBPG-5200
Raith EBPG-5200
Raith EBPG5150
Raith EBPG5150
Nanoscribe Photonic Professional GT2
Nanoscribe Photonic Professional GT2
Заинтересованы в сотрудничестве?

Свяжитесь с нами по телефону: 8–800–2000–567 или заполните форму обратной связи:

Отправить
x