Описание
Технические характеристики
Минимальный размер элементов |
менее 8 нм во всем поле экспонирования |
Размер поля экспонирования |
до 1 мм, с возможностью свободного выбора размера при любом значении напряжения (в кВ) |
Технология электронно-оптической колонны |
EBPG |
Электронный пучок Гауссовой формы |
100 кВ |
Столик |
6 дюймов |
Роботизированный загрузочный шлюз на держателя |
стандартная комплектация (на 10 держателей — опция) |
Сервисное обслуживание
Постгарантийное обслуживание в Сервисном Центре ZEISS –
это квалифицированная техническая поддержка и модернизация оборудования
от профессиональных инженеров:
. . .
Свяжитесь с нами по телефону: 8–800–2000–567 или заполните форму обратной связи: