Raith CHIPSCANNER

Raith CHIPSCANNER — это электронно-лучевой литограф для сканирования чипов и получения топологии в векторном формате CAD с ультравысоким пространственным разрешением и учетом всех элементов топологии — по площади и послойно.

Применяется в микро и наноэлектронике для контроля качества электронных компонентов и для сохранения уникальных технологий, снятых с производства. Сканирование чипов обеспечивает возможность досконально проанализировать структуру для изготовления точного или модифицированного аналога.

Способы применения:

• Восстановление дизайна чипа
• Реконструкция макета
• Анализ подделок
• Защита IP 
• Менеджмент устаревших чипов

Raith CHIPSCANNER объединяет в себе ультравысокое разрешение и гибкость инструмента SEM с точностью, стабильностью и автоматизацией, применяемой в электронно-лучевой литографии. При сканировании он автоматически корректирует фокус на основе сенсора высоты, точно предвыравнивает положение образца и применяет температурную стабилизацию. Высокостабильный зондовый ток обеспечивает высокую стабильность яркости и контраста. Все это дает равномерные мозаичные изображения по большой площади с минимальными ошибками сшивки. Минимизация перекрытия полей обеспечивается за счет высокоточного лазерного интерферометрического стола и калибровки полей экспонирования.

Основные характеристики:

• Получение изображений с разрешением до 50 000×50 000 пикселей
• Полуавтоматическая послойная конвертация изображений в CAD. Оптимизация и постпроцессинг.
• Контроль позиционирования в системе координат образца, коррекция эффекта близости
• Вывод изображения для реверсного инжиниринга интегральных схем
• Увеличение изображения в заданной точке для визуализации в более высоком разрешении.
• Профессиональное программное обеспечение для преобразования данных растрового изображения в GDSII и другие CAD-форматы.