Raith CHIPSCANNER — это электронно-лучевой литограф для сканирования чипов и получения топологии в векторном формате CAD с ультравысоким пространственным разрешением и учетом всех элементов топологии — по площади и послойно.
Применяется в микро и наноэлектронике для контроля качества электронных компонентов и для сохранения уникальных технологий, снятых с производства. Сканирование чипов обеспечивает возможность досконально проанализировать структуру для изготовления точного или модифицированного аналога.
Применение:
- Восстановление дизайна чипа
- Реконструкция макета
- Анализ подделок
- Защита IP
- Менеджмент устаревших чипов.
Raith CHIPSCANNER объединяет в себе ультравысокое разрешение и гибкость инструмента SEM с точностью, стабильностью и автоматизацией, применяемой в электронно-лучевой литографии. При сканировании он автоматически корректирует фокус на основе сенсора высоты, точно предвыравнивает положение образца и применяет температурную стабилизацию. Высокостабильный зондовый ток обеспечивает высокую стабильность яркости и контраста. Все это дает равномерные мозаичные изображения по большой площади с минимальными ошибками сшивки. Минимизация перекрытия полей обеспечивается за счет высокоточного лазерного интерферометрического стола и калибровки полей экспонирования.
Основные характеристики:
- Получение изображений с разрешением до 50 000×50 000 пикселей
- Полуавтоматическая послойная конвертация изображений в CAD. Оптимизация и постпроцессинг.
- Контроль позиционирования в системе координат образца, коррекция эффекта близости
- Вывод изображения для реверсного инжиниринга интегральных схем
- Увеличение изображения в заданной точке для визуализации в более высоком разрешении.
- Профессиональное программное обеспечение для преобразования данных растрового изображения в GDSII и другие CAD-форматы.